Le LETI, qui sommes-nous ?

A Grenoble, au centre des Alpes, le LETI est un institut de recherche appliquée en micro et nano technologies, technologies de l’information et de la santé.

Interface privilégiée du monde industriel et de la recherche académique, il assure chaque année le développement et le transfert de technologies innovantes dans des secteurs variés via des programmes de recherche utilisant nos plateformes technologiques.

Travail demandé :

Nous vous proposons d’intégrer le service Patterning, dans le cadre d’un stage en tant qu'ingénieur procédé R&D.

Ce stage se déroule principalement dans la salle blanche du LETI sur des équipements travaillant avec des substrats de 300mm de diamètre. Il porte sur l’optimisation du procédé de gravure de structures 3D complexes dans de l'oxyde de silicium. Afin de développer et d'optimiser ce procédé, il convient d’étudier l’influence des paramètres de gravure tels que la nature des gaz utilisés, la puissance injectée dans le plasma, la pression ou encore la température sur la morphologie des structures 3D gravées : profil, dimension et rugosité. Pour cela, diverses techniques de caractérisation de couches minces sont à la disposition de l’étudiant comme l’ellipsométrie, la microscopie électronique à balayage ou encore à force atomique. Ce travail à dominante expérimentale est en étroite collaboration avec les équipes de photolithographie et de métrologie du LETI. Ce stage offrira la possibilité de poursuivre en thèse sur la même thématique.

L’objectif final du stage est d’identifier les paramètres clés pour contrôler le profil des formes 3D dans l'oxyde de silicium.